Вакуумные технологические линии для нанесения оптических, токопроводящих, энергосберегающих, декоративных и др. покрытий
Технические характеристики вакуумных технологических линий:
1. Количество камер - 3- 7 шт.
2. Размеры подложек:
ширина - до 3000 мм,
длина - до 4000 мм.
3. Количество магнетронов - 2-7 шт.
4. Количество ионных источников - 1-3 шт.
5. Мощность блока питания магнетрона - 10-70 кВт.
